Elaboration et étude des deux hétérostructures, V2O5/Si(p) et V2O5/SiP/Si(p), Application à la détection de CO2 et des vapeurs d'éthanol

Abstract

Ce travail de thèse est consacré à la réalisation d'un capteur de gaz basé sur la structure V2O5/SiP/p-Si. Cette structure est constituée d'un film de pentoxyde de vanadium, déposé sur une couche de silicium nanoporeux. La structure réalisée a été étudiée pour la détection du dioxyde de carbone CO2, et des vapeurs d'éthanol. Des mesures électriques ont été réalisées sur notre structure à l'air et sous gaz, les réponses du capteur ont montré une modification de ses propriétés électriques en présences du gaz, de plus nous avons enregistré un temps de réponse et de recouvrement rapides, comparables à ceux obtenus avec un dispositif de type CHx/PSi/Si, les résultats obtenues nous ont également permis de conclure que la structure proposée V2O5/SiP/p-Si, opère à basse consommation en tension de polarisation appliquée, et pour de faibles concentration en polluants. Finalement, des mesures électriques sur l'héterostructure en présence de gaz ont été réalisées et discutées, les différents paramètres (capacités et résistances) ont été déterminés