Adaptation et caractérisation d'un système d'élaboration de couches minces par la technique PVD

Abstract

La pulvirisation cathodique est une technique trés efficace pour l'élaboration des couches minces, des multicouches et d'hétéro structures. En effet, elle permet d'obtenir des structures de haute pureté avec des caractéristiques contrôlables selon les conditions d'élaboration. Ces dernières sont étroitement liées au bâti dans lequel s'effectue le dépôt. L'objectif de ce travail est l'introduction de cette technique et son application pour la réalisation et l'étude de monocouches et multicouches d'intérêt technologique. Pour ce faire, une adaptation a été apportée à un système classique de pulvérisation cathodique sur la base d'un cahier de charges