Elaboration du silicium poreux par oxydation anodique pour les supercondensateurs

Abstract

La gravure chimique est une méthode acquise dans la préparation du silicium poreux (SP) avec des applications potentielles dans plusieurs domaines, notamment dans l'application actuelle (les super condensateurs). Dans ce travail, le SP a été fabriqué par une méthode d'anodisation électrochimique utilisant une solution d'électrolyte non toxique pour l'environnement (NH4Fl). À partir de silicium monocristallin selon l'orientation (100) avec une faible résistivité de l’ordre de 3-99 Ω et épaisseur voisine de 650-700 micro Le contrôle de la densité de courant et le temps d'anodisation permet de modifier l'épaisseur et le taux de porosité de la couche de silicium poreux ainsi formée une porosité maximale est obtenue après 30 minutes de réaction à V = 20V. Les caractéristiques morphologiques et structurelles de nos échantillons sont étudiées et analysées pour différentes conditions d'anodisation. Les analyses par FTIR ont montré que la surface poreuse est hydrogénée ce qui lui confère un caractère hydrophobe qui est confirmé par la valeur élevée de l'angle de contact (122,8°).