Influence de la température et de la durée de pré-dépôt sur la formation des couches PSG

Abstract

Dans ce travail nous nous intéresserons à l'étude de l'effet de la variation de la température et la durée de pré-dépôt des couches PSG (Phosphorous Silicate Glass) sur des substrats en silicium multi cristallin de type p par des sources dopantes préformes pour objectif de la réalisation des FSF (Front Surface Field). Nous avons caractérisé nos échantillons par diverses techniques de caractérisation tel que FTIR, XPS, MEB, EDS, ainsi qu'électriquement par la méthode de quatre pointes alignées