Elaboration et caractérisation de Polyaniline(PANI) dopé sur des couches minces de carbure de silicium amorphe

Abstract

Dans ce travail, nous avons entrepris l’élaboration et l’étude des propriétés structurales et optiques des couches minces de carbure de silicium amorphe hydrogéné (a-Si1-xCx :H), (a-SiC :H) La croissance des couches a été réalisée par deux techniques : la pulvérisation cathodique DC magnétron, et en phase vapeur assisté par plasma PECVD. Cette étape est suivie par la formation de SiC poreux (PASC : SiC amorphe) par l’anodisation électrochimique dans un électrolyte à base de 5%HF (/10%) H2O2 (30%) /H2O, en faisant vari le temps d’attaque. Par la suite, La polyaniline (PANI) a été déposée par electropolymerisation sur les couches minces poreuses (PSiC). Les structures réalisées permettent l’élaboration et la caractérisation électrique des capteurs chimiques de type (métal-semi-conducteur). Les capteurs fabriqués ont été testés pour la détection de la vapeur d’ammoniac.